최 교수팀은 나노종합팹센터와 함께 테라비트급 차세대 반도체 소자에 적용 가능한 새로운 구조이면서 세계에서 가장 작은 3차원 '나노전자소자'를 공동 개발하는 데 성공했다.
이번에 공동 개발된 나노소자는 초고속 프로세서나 테라비트급 DRAM, SRAM, 플래시 메모리 소자로 응용이 가능하며, 휴대인터넷, 동영상 회의, 옷처럼 입을 수 있는 컴퓨터 등의 차세대 정보청리 기기의 필수부품으로 사용될 것으로 전망된다.
최양규 교수는 이번에 발표한 3차원 극소형 반도체 소자의 모태가 되는 나노전자소자 연구의 선구자로 국제전자공학회(IEEE) 산하 학술지에 다수의 논문을 발표했다.